Módulo frontal de obleas de 300 mmBROOKS ASYST
Spartan EFEM Sorter
Datos de la máquina
- Descripción de la máquina:
- Módulo frontal de obleas de 300 mm
- Fabricante:
- BROOKS ASYST
- Modelo:
- Spartan EFEM Sorter
- Año de fabricación:
- 2010
- Estado:
- usado
Precio y ubicación
- Ubicación:
- Heilbronner Str. 22, 01189 Dresden, Deutschland
Detalles de la oferta
- ID del anuncio:
- A20798077
- N.º referencia:
- LW43278
- Actualizado por última vez:
- el 19.12.2025
Descripción
Modelo: ASYST Spartan EFEM
Isdjx I Ax Sepfx Ahzoik
Tipo: Clasificador
Estado: Usado
Datos técnicos:
100-240V CA
50/60Hz
10A
Información general:
EFEM de 300 mm con 3 puertos de carga, mini-entorno de sala limpia y robot integrado de transferencia de obleas
Este equipo es un Módulo Front-End de Equipo (EFEM) de la serie ASYST Spartan, diseñado para la manipulación totalmente automatizada de obleas de silicio de 300 mm en la fabricación de semiconductores.
Dispone de tres puertos de carga, un mini-entorno con filtros de aire ULPA, iluminación interna, controles de seguridad integrales y todas las interfaces necesarias para la integración en líneas de producción.
Adicionalmente, cuenta con un robot de transferencia de obleas completamente integrado, que extrae las obleas de los puertos de carga FOUP/componentes, las separa y las entrega con precisión a los módulos de proceso posteriores.
Año de fabricación: 27.12.2010
Incluye CD con manuales de operación, servicio e instalación (9701-3060-01 Rev G)
El anuncio se tradujo automáticamente y se pueden haber producido errores de traducción.
Proveedor
Registrado desde: 2014
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